微小量气体流量计

微小量气体质量流量计：小身材，大能量

在工业自动化、半导体制造、生物医药、环保监测等领域，对气体流量的精确测量需求日益增长。微小量气体质量流量计凭借其紧凑设计、高精度和快速响应，成为关键设备之一。

1. 核心特点

• 微小流量测量：可检测量程为： 30 - 300SLPM，甚至更小的流量，满足精密工艺需求。

• 高精度与重复性：采用热式或压差原理，误差可控制在±1%以内，确保数据可靠性。

• 紧凑结构：体积小巧，易于集成到复杂系统中，适合空间受限场景。

• 快速动态响应：毫秒级响应速度，实时监控流量变化。

• 多气体兼容：通过校准可适配不同气体（如O₂、N₂、CO₂等）。

2. 工作原理

• 热式原理：基于气体流过热传感器时的冷却效应，通过温度差计算质量流量（无需温压补偿）。

• 压差原理：利用层流压差与流量的线性关系，适合洁净气体环境。

3. 典型应用

• 半导体工艺：控制刻蚀、沉积气体流量，保障芯片制造精度。

• 医疗设备：呼吸机、麻醉机中的气体输送监测。

• 实验室分析：气相色谱仪（GC）载气流量控制。

• 新能源：燃料电池氢气流量管理。

4. 技术优势

• 数字化输出：支持RS485、Modbus等通讯协议，便于远程监控。

• 低功耗设计：适合便携式或电池供电设备。

• 耐腐蚀材质：可选不锈钢或特殊涂层，应对腐蚀性气体。

5. 未来趋势

随着物联网和智能制造的普及，微小量气体质量流量计将向更高集成度、智能化（如自诊断功能）方向发展，进一步拓展在微型反应器、太空科技等前沿领域的应用。

总结：微小量气体质量流量计虽体积小，却在精密工业与科研中扮演着“流量守门人”的角色，以技术创新释放巨大能量。如想了解更多流量计相关信息或者流量计选型，可咨询艾丝特流量计厂家技术客服：180 1926 2426（微信同号）获取帮助。