用于对中小流量气体的质量流量进行精密的测量和控制，具有精度高，数字电路，稳定性好，可靠性高，安装简单，操作方便。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
| 性能 | 技术参数 |
| 精度（%） | ±1%FS |
| 响应时间(ms) | 50-1000 |
| 最大工作压力(Mpa) | 3.0Mpa / 10Mpa |
| 工作电源 | 15v-24v 100mA |
| 输出方式 | 4-20mA，0-5V，RS232，RS485 |
| 显示 | 瞬时流量，累计流量 |
| 重复性(%) | 0.2 |
| 介 质 温 度（℃） | -10~55 |
| 湿度 | <95%RH(无结霜，无结冰) |
| 连接 | 螺纹、法兰 |
| 整体功耗 | <2.4W |
| 通讯方式 | RS485(Modbus 协议) |
| 校准 | 空气（20℃，101.325kPa）\ 氮气 |
| 零点稳定度(mv) | ±20 |
