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ATMFC/M气体质量流量控制器
上海艾丝特仪表厂ATMFC/M系列数字型气体质量流量控制器，采用热式质量原理与闭环控制技术，实现对气体质量流量的精密测量与快速稳定控制（响应时间优于1s）。产品量程覆盖2SCCM-30SLPM，精度可达±1%满量程（高精定制±0.5%FS），广泛适用于半导体、光伏、真空镀膜、燃料电池及科研实验等精密气体控制场景。
